凈化實驗室室內環境控制改造設計分析本項目為中國科學院上海某研究所潔凈實驗室項目改造，改造區域在地面一層，建筑面積為６５９ｍ２。其中包括千級的凈化實驗室２間，百級凈化實驗室２間。特別是其中一間面積約１２ｍ２的使用曝光機的實驗室，既要滿足百級凈化的要求，又要求嚴格控制房間的溫濕度，溫度控制精度要求達到±０．１℃，是空調系統及自動控制設計的難點與重點，也是格外需要關注和研究的。
該百級并±０．１℃高精度溫度控制的實驗室根據空調設計所提的工藝要求［１-３］，建筑設計上周邊三面由隔離走廊包圍，另一面與另一間百級凈化室（±１℃溫度控制）相鄰。其建筑層高４．２ｍ，吊頂下緣高度３．０ｍ，整個潔凈室底部鋪設有架高０．６ｍ的防靜電地板，因此實際高度為２．４ｍ。其空調設計要求為：１）潔凈等級：１００級；２）溫度控制：２３±０．１℃；３）濕度控制：４５±３％；４）新風風量：≥４０ｍ３／ｈ為實現設計要求，在空調系統設計及調試過程中的關鍵點包括：１）降低外圍冷熱源的干擾；２）多級隔離的空調機組；３）有效的過濾和氣流形式；４）高精度的傳感器；５）快速響應的控制器與末端設備。
１冷熱源和熱交換器１．１冷熱源整個改造區域的空調總冷負荷約為２５５ｋＷ，區域內的百級、千級潔凈室及輔助房間由１臺的模塊化風冷冷水機組，冷量為（６３×２）ｋＷ，提供全年制冷冷源；同時采用另１臺模塊化風冷熱水熱泵機組提供夏季高峰冷量和冬季的熱量供應，其冷量為（６１×３）ｋＷ，熱量為（６５×３）ｋＷ。
１．２板式熱交換器以往高精度溫濕度控制的實踐證明，不加隔離地直接從冷水機組接收冷凍水（１２℃／７℃），由于冷水機組，無論是風冷式機組、螺桿式機組或其他形式的，都無法避免冷源的出水溫度或流量的突變對末端空調機組的精度控制所帶來的非常不利的影響，特別是對于±０．１℃高精度溫度控制要求的房間。
所以，在深化設計中采用了專用的板式熱交換器來控制水溫和流量的波動。項目中實際增設了１臺板式熱交換器，并配置板交專用水泵兩臺，一用一備，水泵與下述用于±０．１℃溫度控制的潔凈室獨立空調機組風機聯動。布置如圖１所示，其運行參數如下：換熱量：額定值２１０ｋＷ；一次側：供水溫度７℃；回水溫度１２℃；二次側：供水溫度１６±０．３℃（出水溫度控制要求）；回水溫度１８℃。
在板式熱交換器的二次側出水位置設水溫傳感器，并在一次側冷水進水管上加裝高靈敏的電動調節水閥控制，二次側的出水溫度在設定值±０．３℃的誤差范圍內，以減小由于冷水溫度的劇烈波動對后端空調機組高精度控制的干擾。
同時，除了冷水供應時溫度波動的影響之外，后端空調機組的冷水水壓差也是一個重要的干擾源，不穩定的水壓必然會對水溫控制帶來負面影響，從而波及到被控房間的溫度。因此，本項目在板式熱交換器的二次側的出水管和回水管之間裝設了一只電動二通閥，通過水閥的無級調節來穩定二次側出水管和回水管之間的水壓差。回路阻力計算和現場實際調試中，２ｋｇ／ｍ２設定值的穩定效果較理想。
２多級空調機組的布置２．１新風機組與***處理一般夏季空調系統處理后的室內相對濕度在６０％￣７０％，本改造項目中的百級和千級潔凈室的設計濕度要求在４５±３％或４５±５％，***處理后需要達到露點溫度１０℃左右才能滿足下一步處理及高精度控制的工藝要求，通過簡單的表冷器***難以保證達到１０℃￣１５℃的送風露點溫度的要求，勉強為之，表冷器表面會有結霜的風險。
在深化設計當中，在表冷器后端串入１臺轉輪式除濕機，處理新風量為５５００ｍ３／ｈ，經計算***量為３９．５ｋｇ／ｈ，通過新風出口的露點傳感器調節***功率，實際運行可使表冷器和除濕機兩級處理后的新風送風露點溫度達到當初設計的要求，露點溫度１０．５℃。在冬季室外空氣濕度較低時，新風不需要轉輪處理，從節能角度考慮新風設計成通過旁通風門直接送到下級空調機組，整個夏季、過渡季及冬季的轉換均有ＢＡ系統的傳感器收集信息，并自動判斷及邏輯切換。
２．２±０．１℃精度潔凈室空調機組針對±０．１℃精度要求的百級潔凈室，獨立配置了１臺總風量為１６０００ｍ３立式空調機組，分別在風機的前后端加設初中效過濾段和亞高效過濾段，百級潔凈必需的高效過濾器設在潔凈室吊頂上方（具體介紹請見“３潔凈室氣流組織”章節）。
為實現±０．１℃精度要求的溫度和±３％精度要求的濕度控制，在深化設計中空調機組在風機前端配置了冷水盤管、熱水盤管以及電加濕器，在風機的后端即送風管上配備用于溫度微調的２組電加熱絲，一組為１ｋＷ，另一組為９ｋＷ。這樣通過兩級溫度控制來實現±０．１℃精度的要求，具體控制方法如下。
２．２．１送風溫度控制在空調機組內的風機出口處設置溫度傳感器（Ｔ２），在深化設計和現場控制中，設T２的設定溫度為２３－０．１＝２２．９℃，（２３℃為房間控制溫度中間值），通過前端冷水盤管和熱水盤管聯合調節控制。對于夏季工況：調節冷水盤管控制風機出口處溫度（T２），使其基本在２２．９℃的設定范圍內；對于冬季工況：當風機出口處溫度（T２）低于２２℃時，且冷水閥開度為０％，打開熱水閥調節控制；當熱水閥開度為０％，且送風溫度仍然高于設定值時，開啟冷水閥門。
２．２．２房間溫度控制房間溫度的微調的由送風風管的２組電加熱絲進行調節控制。通過房間溫度傳感器首先調節第１組電加熱絲（功率１ｋＷ），電加熱絲調節采取可控硅無級調節方式，保證了及時的響應；當第１組電加熱絲功率輸出大于等于８０％時，采用同樣的無級調節方式投入第２組電加熱絲（功率９ｋＷ），*終實現房間溫度保持在２３±０．１℃范圍內。實際運行中，得益于合理的設計、分級的空調機組、干擾源的排除、有效的自控，整個運行季（夏＼冬＼過渡季），第２組電加熱絲較少投入使用。
２．２．３濕度控制通過安裝在潔凈室內的濕度傳感器調節電加濕器，控制送風濕度在４５％，實際運行可以保持房間濕度在４５±３％范圍內。
３潔凈室氣流組織潔凈室建筑層高４．２ｍ，吊頂下緣高度３．０ｍ，整個潔凈室底部鋪設有架高０．６ｍ的防靜電地板，實際室內高度為２．４ｍ。頂部設置送風靜壓室，周邊設回風管道。整個百級區域為上送底回的垂直層流氣流形式，深化設計中斷面風速取０．４ｍ／ｓ。
常規百級潔凈一般都會選用高效過濾空氣單元（ＦＦＵ）作為相當末端的送風設備，以保證層流的效果。但對于本項目中由于存在更嚴格的±０．１℃溫度精度控制要求，在末端使用ＦＦＵ反而會帶來問題。因為ＦＦＵ均采用直流或交流電氣驅動風機均勻送風的方式，并鋪滿整個潔凈室的頂部。經計算１２ｍ２的地板面積，使用ＦＦＵ后總的驅動電機功率在３￣３．３ｋＷ，這些電機產生的散熱量會隨著送風進入潔凈室內，對室內的負荷產生干擾，從而影響相當末級的室溫精確控制。所以在深化設計中，取消了ＦＦＵ的原布置，采用送風靜壓箱＋高效過濾器的自然送風方式，讓在新風機組、空調機組、風管電加熱絲等三級處理的風均勻從頂部經高效過濾送入室內，再有地板回風經兩側的回風管道回出。由于取消了ＦＦＵ末端的機械送風，為保證潔凈室內的正壓，在空調自控設計中加入了壓差傳感器監測室內外靜壓差，通過調節潔凈室空調機組的風機頻率來使得房間正壓達到設定值。
４自控設備的選擇４．１傳感器的精度一般空調系統中各式常規傳感器是能夠勝任的，但為實現±０．１℃，±３％ＲＨ的控制要求傳感器精度就顯得十分重要。精度范圍太寬泛，肯定不能滿足精確控制的需求；范圍過窄，超出了實際需求和供應商的能力同樣也無必要。所以在深化設計中針對各個應用地點，如風管、房間和板式交換器等處，規定并按下面的精度范圍選取相應的傳感器，見表１。４．２現場控制器的選擇有效的控制除了合理的系統設計、參數設定，和確定合適的控制邏輯之外，可靠有效的現場控制器也是至關重要的。現代電腦和控制器的計算速度完全能夠跟上計算的變化和作出相應的邏輯指令。但現場控制器是否能及時和穩定地掃描到外部信號的變化，卻不是所有常用的現場控制器能夠做到的。在深化設計中針對這種情況，選用了兩款現場控制器，分別滿足不同的應用場合。
４．２．１非±0.1℃潔凈室的控制器在新風處理機組和板式交換器的監視信號的采集和控制指令的發出，采用了Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ公司高端的ＸＬ８００系列ＣＰＵ主機及其Ｉ／Ｏ擴展模塊，由于它的工業化設計，耐用可靠，完全能夠適應常規空調系統的系統控制要求。在本項目中包括上述的新風處理與板交外，其他冷源、熱源、非±０．１℃精度百級潔凈室、千級潔凈室、輔助用房等的空調設備監控，均采用ＸＬ８００系列的控制單元實施。
４．２．２±0.1℃級用控制器對于本項目要求的±０．１℃精度要求的空調系統控制來講，任何一點瞬時的外圍環境變化，送風量的波動，水系統進水溫度的變化，甚至風機變頻的變化都會直接帶來負荷的變化。這就要求現場控制器必須能及時捕捉這些受控信號，特別是像溫度和濕度等模擬量的數值變化，并及時做出反應。為此專門選用了Ｈｏｎ－ｅｙｗｅｌｌ公司工業級ＨＣ９００控制器來實現對瞬間外界變化的高速響應，除了強大的運算和存儲能力外，它的快速數據更新的能力（邏輯量掃描更新：２７ｍｓ；邏輯量掃描更新：０．５ｓ）是收集溫度、濕度信號的快速變化并及時邏輯響應，并*終實現±０．１℃控制的有力保障。
實際運行中ＨＣ９００控制器的工作效率和穩定性完全滿足了深化設計的要求，有效實現了±０．１℃，±３％ＲＨ的控制。現場空調機組及被控區域的監控信號畫面截圖如圖３所示。
５結語從本項目的深化設計、設定參數計算、控制方案的確認以及現場調試的實施工程中。筆者有如下體會，以及經驗的總結。
（1）分級設計新風的處理和±０．１℃區域空調系統能有效地減少室外環境對室內環境傳遞的影響；（2）采用板式熱交換器可以進一步穩定冷凍水的供應，使得冷水機組對空調系統調溫調濕的影響降到相當低；（3）常用的高效過濾空氣單元（ＦＦＵ）并不適合有±０．１℃要求的潔凈區域，使用自然垂直平流送風的設計在符合百級凈化要求的同時有效地控制室內溫度；（4）傳感器精度對于溫度濕度的控制至關重要，同時高速更新特別是模擬量的快速更新的控制器是*終完成±０．１℃自控控制的設備關鍵；（5）在受控區域空調機組水閥雖采用了高靈敏的電動調節水閥，但由于電動水閥本身的交流電機的散熱會不規律地傳入運行系統，在調控初期不免影響到控制的穩定。建議以后的工程中盡量選取同樣快速響應性能的氣動閥門。
